미국 반도체 이온주입 장비 기업 엑셀리스(Axcelis Technologies)가 경기도 평택 오성 외국인투자지역에 575억 원을 투자해 아시아 거점센터를 조성한다.
경기도는 20일 평택 오성 외국인투자지역에서 엑셀리스 아시아 거점센터 착공식을 개최했다고 밝혔다. 이날 행사에는 추미애 경기도지사와 최원용 평택시장, 러셀 로우 엑셀리스 최고경영자(CEO) 등 관계자 50여 명이 참석했다.
엑셀리스는 2만2326.5㎡ 부지에 약 575억 원을 투자해 연면적 1만8800㎡ 규모의 제조시설을 조성한다. 2028년 상반기 준공이 목표다.
신규 시설에는 반도체 이온주입 장비 제조용 클린룸과 부품 공급을 위한 허브창고, 고객 트레이닝센터 등이 들어선다. 미국에서 생산하던 일부 장비와 제품을 한국으로 이전해 아시아 수출 물량의 국내 생산 비중을 확대하고, 글로벌 고객사에 대한 장비 공급과 기술지원 역량도 강화할 계획이다.
도는 이번 투자가 반도체 공급망 안정과 첨단산업 경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대하고 있다. 엑셀리스코리아는 2022년 국내 제조를 시작한 이후 국내 중소기업 35개사와 협력관계를 구축해 왔다.
추미애 지사는 “이번 투자는 생산과 물류, 고객 교육까지 기능을 확대하는 뜻깊은 출발”이라며 “기업이 안심하고 투자할 수 있는 환경을 조성해 세계 반도체 산업의 미래를 이끌겠다”고 말했다.
한편 미국 매사추세츠주에 본사를 둔 엑셀리스는 반도체의 전기적 특성을 정밀하게 조절하는 이온주입 장비를 생산하며, 전기차와 산업용 전력기기에 활용되는 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 분야에서도 기술 경쟁력을 갖추고 있다.
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